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光譜范圍：350 nm - 850 nm
可選: 280 nm - 850 nm
SE 800是采用快速二極管陣列探測器的高性能光譜橢偏儀，在紫外/可見光范圍內兼具快速數據采集速度和全光譜范圍分辨率。
光譜橢偏儀SE 800適用于復雜應用，比如測量玻璃上的透明薄膜，發光體和半導體聚合物薄膜，吸收/透明基底上的多層膜，窗材料的減反射膜，先進的微電子應用比如SOI，高k值和低k值材料。各向異性樣品和非均勻樣品也能夠被分析。
主要特點
l 步進掃描分析器工作方式，對較低光強也同樣有效
l 消色差補償器在整個0-360度范圍內都可極準確和精確地測量出橢偏角度。能夠分析偏振因數和補償退偏效應
l 起偏器跟蹤技術可以為每一種應用都提供最高的測量精度
l 自動對準鏡用于樣品傾斜度調節，顯微鏡用于樣品高度調節，能夠提供最高的樣品對準精度
l 高穩定性的操作，所有硬件操作由其內置的微控制器分別控制，基于Windows XP系統的最新型電腦
l SpectraRay II – 功能強大的光譜橢偏儀軟件
主要應用
l 測量單層膜或多層膜的厚度和折射率
l 在紫外-可見光波段測量材料的光學性質
l 測量厚度梯度
l 測量膜表面和界面間的粗糙程度
l 確定材料成分
l 分析薄金屬膜
l 分析各向異性材料和薄膜
l CER – 結合橢偏測量和反射測量
l CET – 結合橢偏測量和透射測量
l 紫外擴展選項 280 - 850 nm
l 計算機控制角度計，40º-90º, 可選 20º-90º ，精度0.01º
l 手動x-y載物臺，150 mm行程
l 電機驅動x-y載物臺，行程50 mm - 200 mm
l MWAFER- SENTECH地貌圖掃描軟件
l 透射測量樣品夾具
l 攝象頭選項，用于樣品對準和表面檢測
l 液體膜測量單元
l 反射式膜厚儀FTPadvanced, 光斑直徑80微米
l 微細光斑選項，光斑直徑200微米，可選: 100微米
l 自動對焦選項，結合地貌圖掃描選項
l SENTECH標準樣片
l 附加許可，使SpectrRay II軟件可以用于多臺電腦 |
