AJA離子束刻蝕系統 Ion Milling System

• 離子束刻蝕系統

  

  物理刻蝕設備，多種尺寸選擇。集成基片冷卻和SIMS終點監測功能。兼容射頻和直流離子源，最大22cm直徑。滑軌時安裝，方便集成更大直徑離子源。

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