SENTECH ’ Reflectometer RM能夠在UV-VIS-NIR光譜范圍對單層膜、多層膜和基底材料進行高精度反射光譜測量。可對吸收或透明基底上的透明或弱吸收薄膜分析厚度和折射率 

主要特點

l 高精度反射率測量，非接觸，正入射光 

l 寬光譜范圍，可從 UV至NIR 

l 測量反射率曲線R, 薄膜厚度，折射率 

l FTPexpert 軟件，用于測量薄膜的光學參數 

l 測量半導體混合物的組分 (例如： AlGaN on GaN) 

l 分析各向異性薄膜 

技術指標

l 光譜范圍擴展至DUV (200 nm) 

l 光譜范圍拓展至NIR (1700 nm) 

l x-y 地貌圖掃描樣品臺和軟件 

l 攝象頭 

l PC