AJA International的ATC Orion系列磁控濺射系統是ATC Flagship旗艦系列下的一款高性價比的緊湊型物理氣相沉積設備。Orion系列的高真空和超高壓真空濺射系統都沿用了許多ATC濺射系統的成熟設計和通用配件。標準的ATC Orion部件（腔體，框架，集群法蘭等）一般都有現貨，因此我們能夠有效縮短設備交貨時間。

Orion 8有一款特殊設計的系統，可以集成4個2"磁控濺射靶源，可原位偏轉。ATC Orion系列濺射系統可以輕易相互連接，或是連接其他ATC系統，集成多腔（如，金屬/氧化物）或多功能混合系統（如，濺射/蒸發/PLD/離子束刻蝕）。

主要特點

l 可集成5個3''或8個2"共濺射靶槍

l 向上或向下濺射

l 沉積均勻性+/-2.5% @ 4" (100mm)基片

l 樣品臺：加熱，冷卻（LN2/H2O），射頻/直流偏壓

l 選配射頻，直流，脈沖直流和HIPMS等電源

l 可集成4路MFC氣路(Ar, O2, N2, H2等)

l 選配load-lock預真空室

l 計算機控制或半自動控制

l 高真空或超高真空

產品規格