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AJA電子束蒸發系統 E-beam Evaporation System

電子束蒸發系統

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AJA 的蒸發鍍膜系統有三種不同的型號:ATC-E, ATC ORION-E (比 ATC 和 ATC-Orion 更高的型號)和 PVDX(一種穿墻箱式鍍膜裝置)。這些設備都能在有限的預算下實現性能和質量的最優化。這些設備沿用了許多 ATC & ATC ORION 濺射設備的設計特點和通用部件,且都適用于HV高真空和UHV超高真空,還能配置單槽或多槽,直線和旋轉電子束蒸發源,熱蒸發源,離子/等離子體蒸發源,克努森蒸發池(分子束外延系統),有機材料低溫蒸發池,Radak 蒸發源,磁控濺射靶等。此外,這些系統還能配置預真空室,QCM石英晶體微天平監控和控制,加熱或冷卻的樣品臺,行星齒輪,不同的泵組和自動控制裝置等。

 

 標準蒸發速率/均勻性數據

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標準電子束蒸發系統配置

ATC-ORION-8E UHV

結構緊湊,經濟型超高真空鍍膜機,帶5槽直線型電子束蒸發源,安裝在滑動機制上,便于裝載和維修。系統另一個特點是渦輪分子泵預真空室。

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ATC-2200-E

直徑 22 英寸,高 36 英寸超高真空電子束蒸發器,帶 5 槽直線型,超高真空電子束源,2 個Radak熱蒸發器和渦輪分子泵預真空室。

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ATC-2030-E HV

6 槽旋轉電子束蒸發源,帶預真空室,水冷樣品臺和前置輻射基片加熱。

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ATC-2036-E HV

6 槽旋轉電子束蒸發源,帶可加熱至 1000°C 基片加熱器和線性控制可編程的基片擋板,用于楔形膜。

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